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057 EUV光刻机三大核心模块研发完(第1页)

当时叶龙查看这项技术的时候,异常兴奋。

搞懂原理之后,

马研发,

很快搞定。

刚刚他试验过了,

光源模块满足要求,

比他预想的效果还要好。

紧接着,

他马又研发镜头模块。

这也是重中之重。

要求极高:

一,超高精度。【镜头均匀度,纯净度,镜片数量要多】

二,反射效率要极高。【表面涂层避光性要极高,对涂层材料要求极高,一般镀有采用osi的多层膜结构】

三,少损失能量。【距离短,反射镜片少】

目前全球范围内,

能够制造这种镜头的,只有德意志国的蔡司镜头才能满足要求。

荷国阿斯麦公司的euv光刻机,采用的就是这种镜头。

当然,

如此先进的镜头,

有米国的阻挠,

夏国公司自然买不到。

不过,

按照叶龙的设计方案,

就是能买到蔡司公司的镜头,也根本无法满足要求。

必须自己研发。

还好抽奖已经获得了镜头模块技术。

不到两个小时,

他就弄懂这些技术,

融会贯通,设计出芯片结构,

还有制造工艺。

把王爱国叫来,

让他把设计图拿到车间,

吩咐工人赶紧加工。

“镜头?”

王爱国拿起设计图,

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