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直到,来到了一个新的项目组。
杨振只是简单的几句话,就让他忍不住破防了……
“昆仑……竟然早就开始研发纳米印压微影技术了,还造出了原型机?”
什么是纳米压印技术?
说白了,就是一种新型的微纳加工技术。
也就是通过机械转移的手段,在保持其超高分辨率的情况下,通过光刻胶辅助,将模板上的微纳结构,转移到待加工材料上的技术。
毫不夸张地说,这就是一种有望取代传统光刻技术,成为微电子、材料领域的重要加工手段的技术。
它最初,是由普林斯顿大学的周郁(stephen·y·chou),在1995年提出来的概念。
也就此揭开了纳米压印制造技术的研究序幕。
第一个试水者,就是东洋的佳能。
它早在2004年,就开始秘密涉足这一领域了。
按照原有的发展轨迹,将会于2017年,联合铠侠,正式启动试制设备的运行,然后于2021年,拿出了实用化时间表,最终在两年后,推出了真正的纳米压印半导体制造设备。
不过,那时候只能生产10纳米的存储芯片。
直到2026年,才终于实现了5纳米的逻辑芯片制造……
当然了,再来一次,结果肯定是完全不一样了。
当前这会儿,传统的芯片制造工艺流程中,还是以duv光刻机为核心的生产方式呢。
euv都还没有出来呢,工艺制成,也仅仅才发展到45纳米上,主流设备,还是以浸润式光刻机最为先进。
所以,纳米压印技术随便搞搞,就能轻松达到10纳米级别了。
做个原型机,那还不是跟玩儿似的……
“景老是行内人,对于传统的芯片制造工艺流程,更是专家中的专家,所以,我就不班门弄斧了。
“而这种纳米印压微影技术,说白了,就是取代传统流程中,涂敷光刻胶、曝光、显影三大光刻步骤的。
“也就是说,它取代了光刻机,把原先由利用光线将电路图案刻到晶圆上的方式,换成了像盖章那样,压印在了晶圆上的模式。”
他说的很简单,但实际上,整个过程的实现,肯定是不会这么轻巧的。
而且相对而言,在传统芯片制造上,光刻机的重要性是毋庸置疑的,也复杂无比。
首先,要制作光罩,也就是对电子回路刻画在几十张玻璃板上;
然后准备作为制作芯片的衬底晶圆片,先加热晶片使其表面形成氧化膜,再涂上光刻胶,用以改变化学性质的方式,让晶圆成为“相纸”;
光刻胶也是分为正胶和负胶的,前者会在受光后分解并消失,留下未受光区域的图形,而后者,则会在受光后聚合,并让受光部分的图形显现出来。
这个过程,就是曝光和显影了。
而且,处理一个晶片,还不是一次就能完事儿,基本上会来好几次,多重曝光还会达到十次以上。
由此可见,光刻在整个芯片制造过程中的重要性了。
事实上,它也是最昂贵的工艺步骤,其成本,占总成本的30以上,同时也占据了50的生产周期。
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