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“我们选择了用光刻胶来代替热固性材料,作为转印介质填充在模板和待加工材料之间,然后以注入式代替压印式加工,这就一下子解决了高压和加热对加工器件的损坏,以及防止气泡和加工精度的影响。
“模板材料也选择了自行研发的高弹性模量pds材料,并开发出了相应的软压印技术,这种柔性材料模板,可以贴合不同形貌的表面,以达到良品率上的高要求。”
景老再次大为感慨,冲他竖了个大拇指,表示钦佩。
“怪不得在正河那家晶圆厂里,在很多方面的设计上,都有一些差异性,敢请,就是为了适应这套纳米压印技术吧。”
杨振颔首而笑,“对,没有了光刻环节,不管是电力、生产线设计、对水源的需求,都会相应降低许多,至于实际应用情况,以后还得仰仗您老了。”
景老哈哈一笑,豪气顿生,“我也很渴望见证一下它的横空出世呢,真要是成了,那就不是国外封锁我们了……呵呵,果然是风水轮流转啊!”
杨振陪着笑了几声。
心说,敢不负所望?
他在这方面可是信心十足的,而且目前也算是万事俱备、只欠东风了。
东风在哪儿?
就在昆仑大厦下面的那个试验车间里呢。
只需要等高精密度的母机出世,把超精密加工中心给搭建起来,那他就再也不怕什么精密部件制造上的限制了。
航发的轴承都能造出来,还怕什么对准系统?
开什么玩笑!
所以,别说这会儿euv光刻机还没有开发出来了,就是能准时量产了,和纳米压印技术也是两种境遇。
记忆里,是euv率先抢占了市场,纳米压印设备只能跟在后面亦步亦趋的。
先是从doe、arvr衍射光波导、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、led、微透镜阵列等应用领域开始发展,以低成本和高效率抢占市场。
然后才由海力士和铠侠,在3dnand闪存上开始蚕食份额。
进而逐渐过渡到dra上,最终,才得以实现cpu等逻辑芯片的加工制造。
征程相当励志,但也是时代变迁的一种必然。
正如之前景老说的那句话,风水轮流转啊!
新世纪之前,曾经的尼康和佳能,几乎霸占了全球8成以上的光刻机市场,一时间风头无两。
但是阿斯麦仅仅靠着林本舰的一个浸润式技术专利,就很快完成了逆袭,进而成为独霸这一领域的巨头。
然后,佳能卧薪尝胆20多年,终于和天仁微纳一起,反手把阿斯麦给狠狠压在了身下。
不得不说,又是一段传奇!
果然是各领风骚数十年啊……
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