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第17章 折服技术核心（第3页）

材料热胀冷缩的特性就会造成掩膜版和晶圆片的对准精度误差，他们早就发现了，也知道问题出在这儿。

但发现问题又能怎么样？解决不了还不是白搭。

虽然之前聊的很好，很投机，康硕也很有水平，但一个没有任何实操经验的本科生再有水平又能高到哪儿去呢？顶多跟他们差不多罢了。

所以，这些工程师们并不认为康硕能解决这个问题，听康硕说这些的时候，他么的内心甚至毫无波澜。

康硕略一寻思，就知道这群人在想什么了，想当年在公司里遇到大牛的时候，他内心也如此嘀咕过来着，于是，他顿了顿，接着说道：“要想解决这个问题其实很简单。”

“嗯？简单？”几名技术核心同时露出了茫然的神色：印象中，这孩子不是爱说大话的人呐！

“拿两个标准片，使用同一组晶圆，一个对准图形的第一掩膜版，另一个对准图形的第二掩膜版。”

康硕没有理会他们心里在嘀咕什么，事实胜于雄辩，他接着说道：“然后，我们沿光刻系统方向整体偏移，预设一个偏移距离，然后曝光显影。

这个时候，分别测量第一标准片和第二标准片某个重复区域嵌套的图形之间的相对偏移误差，将第一误差和第二误差的差值作为掩膜版对准图形的补正参数，以此，我们就能减小这个误差，提升整体的制造工艺。”

开始的时候，这些人还有些嗤之以鼻，但康硕越说他们越是心惊。

发现这个问题之后，他们不是没有尝试过去解决，也想了好些办法，设计了好些方案。

但每一个方案都没撑到实施阶段，论证的时候就完全都被否了，理论都不通，实践怎么可能会有效果呢？指望着瞎猫碰上死耗子吗？根本不可能！

而这个时候，一群人在脑子里把康硕的方案从头至尾，一个环节一个环节的全部过了一遍，竟然发现理论上真的行得通！

不仅如此，这种方案还具有通用性，而且还很便捷，成本也不高，至于准确性，光从理论肯定判断不出来，肯定要上实践。

不管实施的结果怎么样，康硕就已经走到他们前边了啊！

一群人，尤其是几个技术核心看向康硕的眼神立刻不一样了：他怎么对光刻的流程这么熟悉？现在的大学生都这么牛了吗？

“你们准备设备，我来更新调试对准误差补偿量参数，我们现在就尝试一下！”

其实不用尝试，康硕对这种方法有着极度的自信，因为这本就是被证明过的实施方案。

当然，只是在130n48n这个区间有效，再往上，那就是另一个层次的事情了，影响因素会更多。

康硕有信心，但工厂的技术人员没有啊，此刻，他们的内心就像是猫爪子挠一般急切的想要知道结果。

这个级别的技术也不算是什么核心，在工厂内核心技术人员都签署了保密协议和竞业限制的情况下，康硕也就没有藏着掖着，直接就带着他们开搞了。

这一搞，就是不分昼夜。

“成功了！我们成功了！”

工厂里，一群丝毫不修边幅的技术人员满眼血丝，但他们神色激动，大声惊呼。

几乎是几天不眠不休的奋战，结果没有令他们失望。

整套系统升级后，完美的实现了他们对对准误差补偿调整的设想，他们成功的制作出第一批的110n制程工艺的样片，把整个工厂的技术能力提升了一个层次。

而这，全都是眼前的整个刚满二十周岁的年轻人带来的。

“老大！”

一群或大或小，但最小的也要比康硕大好几岁的人心悦诚服的叫着康硕老大，技术领域里，那就是达者为先。

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